防振基座設計製造
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TYPE A - RC基座:
1.RC基座:適用於對設備環境有嚴格的微振需求，此基座設計可以達到良好的隔震效果。
適用設備:量測製程設備。
2.高剛性基座:適用於對設備環境有微振要求，且設備對於使用上有動態剛性需求，此設計可以達到動態剛性需求且擁有良好的防振效果。
適用設備:SCANNER(曝光機)、STEPPER(步進機)等製程設備。 -
TYPE B - 鋼構基座:
1.鋼構基座:適用於微振需求不高且需阻絕高架地板因人員或貨架走動所產生的振動，環境符合設備 規格的情況下使用。
適用設備:INSPECTOR(檢驗設備)、Microscopes(光學顯微鏡)、REPAIR、RUBBING、COATER、OVEN等製程設備或PUMP、CHILL等附屬設備。
2.荷重型基座:無震動需求，適用於設備重量超過放置區域高架地板均佈荷載或因配管需求，造成的開孔過多，而使原高架地板無法承重或下方有配管空間之需求時，此基座設計能荷載設備所產生的集中荷重的問題及有更靈活的配管空間。
適用設備:IPM、CMP、WET、Track、PVD、CVD、Furnace等製程設備。